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關鍵詞：氣體質量流量控制器 (MFC) 類型 8711
8711 型質量流量控制器 (MFC) 適合在大流量范圍內對氣體進行質量流量控制。直接位于氣流中的熱 MEMS 傳感器可以實現*高速度的響應。一個直動式 Bürkert 比例閥作為執行元件，確保了良好的響應靈敏度。集成 PI 控制器，令 MFC 具備**的控制特性。8711 型設備可以針對兩種不同的氣體進行校準，用戶可以在兩者之間進行切換。作為電氣接口，既提供模擬標準信號，也提供現場總線。8711 型質量流量控制器適合多樣化應用，例如燃燒器控制、熱處理、材料涂層、生物反應堆、燃料電池技術或者試驗臺。
