Arzuffi BDS-MF是一款等離子發(fā)生器，其正弦輸出電壓為40 kHz，*大功率輸出為5 kW或10 kW，專為PECVD等離子或等離子體激發(fā)而設(shè)計(jì)。
該發(fā)生器能夠提供高達(dá)10kW(5KW)至5000V的RMS輸出。輸出為兩個(gè)對(duì)稱電*的平衡型。
典型的應(yīng)用是大型工藝室的PECVD工藝。
一個(gè)特點(diǎn)是內(nèi)部輸出的高壓變壓器，帶有兩個(gè)插座，以適應(yīng)等離子體阻抗。
該發(fā)生器設(shè)計(jì)用于現(xiàn)有機(jī)器上的即插即用安裝。
ARZUFFI發(fā)電機(jī) BDS-MF系列參數(shù)：
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BDS-MF5K |
BDS-MF10K |
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輸出功率 |
負(fù)載為2000歐姆負(fù)載時(shí)為5 kWatt |
負(fù)載為2000歐姆負(fù)載時(shí)為10 kWatt |
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供電電壓 |
3 X 400 VAC +/- 10%50/60 HZ，10A
(L1，L2，L3，PE) |
3 X 400 VAC +/- 10%50/60 HZ，18 A(L1，L2，L3，PE) |
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尺寸 |
抽屜19英寸機(jī)架，4UI高度(177毫米)540毫米深度 |
抽屜19英寸機(jī)架，4UI高度(177毫米)540毫米深度 |
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重量 |
20KG鋁制容器 |
20KG鋁制容器 |
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冷卻 |
空氣冷卻，**散熱器，該裝置可在高達(dá)40°C的環(huán)境溫度下工作 |
空氣冷卻，**散熱器，該裝置可在高達(dá)40°C的環(huán)境溫度下工作 |
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輸出電壓 |
在2000歐姆負(fù)載時(shí)，tap2上的電壓高達(dá)5000V |
在2000歐姆負(fù)載時(shí)，tap2上的電壓高達(dá)5000V |
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輸出電流 |
TAP1上*高3.5 A，TAP2上*高2.5A |
TAP1上*高3.5 A，TAP2上*高2.5A |
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輸出連接器 |
2個(gè)Fischer 105連接器上的平衡輸出，用于RG214 / U同軸電纜 |
2個(gè)Fischer 105連接器上的平衡輸出，用于RG214 / U同軸電纜 |
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等離子點(diǎn)火電壓 |
大于5500 VRMS |
大于5500 VRMS |
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電弧識(shí)別電路 |
過(guò)流一次回路，反應(yīng)時(shí)間1微秒 |
過(guò)流一次回路，反應(yīng)時(shí)間1微秒 |
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接口 |
DB25連接器，模擬10V信號(hào)，24V數(shù)字
引腳排列，兼容ADVANCED ENERGY PEII©
RS232或PROFIBUS 發(fā)生器(可選) |
DB25連接器，模擬10V信號(hào)，24V數(shù)字
引腳排列，兼容ADVANCED ENERGY PEII©
RS232或PROFIBUS 發(fā)生器(可選) |
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前面板 |
LCD顯示2×40個(gè)字符 |
LCD顯示2×40個(gè)字符 |
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測(cè)量電路 |
RMS電壓，RMS電流，負(fù)載上提供的有功功率 |
RMS電壓，RMS電流，負(fù)載上提供的有功功率 |
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調(diào)節(jié)電路 |
動(dòng)力 |
動(dòng)力 |
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高壓輸出變壓器 |
兩個(gè)Tap1輸出插座，用于1000歐姆負(fù)載，Tap2用于2000歐姆負(fù)載 |
兩個(gè)Tap1輸出插座，用于1000歐姆負(fù)載，Tap2用于2000歐姆負(fù)載 |
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合規(guī) |
EC可根據(jù)要求提供符合性聲明 |
EC可根據(jù)要求提供符合性聲明 |
