用于清潔氣體的微機電系統質量流量傳感器和儀表 微機電系統質量流量傳感器采用公司專有的微機電系統質量流量傳感技術制造，具有大動態范圍、高精度和長壽命的特點。微機電系統傳感元件設計有壓力平衡器，允許在高工作壓力下應用。典型的應用包括: 1.醫療器械或設備，如呼吸機、麻醉設備、哮喘檢測器、自動旋轉儀、內窺鏡、伽瑪刀、CPAP等等 2.過程控制和監控如焊接過程、氣體混合器、食品包裝機器人控制、堵塞感應風扇監控等等 3.使用儀器，如氣相色譜光譜儀、氣體控制設備、空氣取樣器、泄漏檢測、氣體分析儀等 4.半導體設備例如管芯附著、引線鍵合機、濕化學工作臺監控器 5.智能家居/暖通空調，提供對通風櫥通風的監控和效率反饋。 Siargo成立于2003年，是****的微機電系統質量流量傳感產品供應商，我們正在將我們的技術擴展到微流體、壓力和氣體傳感產品和應用
